우선 문제를 해결하기 위해 다음과 같이 필요한 조건을 정하고 가능한 종류의 히터를 검토했습니다.
1) 국부적으로 가열이 가능할 것(가스와 웨이퍼가 만나서 반응하는 부분에 높은 온도가 유지되어야 했기 때문에) 2) 저렴한 가격 3) 고온에 대한 안정성
그래서 값이 싸고 높은 온도를 낼 수 있으면서도 충분한 안정성을 가지고 있는 카트리지(막대) 히터를 사용하기로 했습니다. 모양은 다르게 생겼지만 같은 기능을 할 수 있다는 점에 초점을 맞추었습니다.
다만, 해결 과정에서 히터와 컨트롤러의 연결 문제가 있었습니다. 카트리지 히터는 반응로 안에 직접 삽입되기 때문에 외부로 연결선이 노출되어 기체가 유출되는 문제가 있었습니다. 이런 문제점은 연결부 피팅에 접착제를 붙이는 것으로 해결하였습니다.
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